Analiza mikrostrukture i evaluacija poluvodičkih materijala
Uvod u uslugu
Uz kontinuirani razvoj velikih integriranih kola, proces proizvodnje čipova postaje sve složeniji, a abnormalna mikrostruktura i sastav poluvodičkih materijala ometaju poboljšanje prinosa čipa, što donosi velike izazove implementaciji novih poluvodičkih i integriranih tehnologije kola.
GRGTEST pruža sveobuhvatnu analizu mikrostrukture poluprovodničkih materijala i evaluaciju kako bi pomogao kupcima da poboljšaju procese poluvodiča i integriranih kola, uključujući pripremu profila nivoa pločice i elektronsku analizu, sveobuhvatnu analizu fizičkih i kemijskih svojstava materijala povezanih s proizvodnjom poluvodiča, formulaciju i implementaciju analize zagađivača poluvodičkih materijala program.
Obim usluge
Poluprovodnički materijali, organski materijali male molekule, polimerni materijali, organski/anorganski hibridni materijali, neorganski nemetalni materijali
Servisni program
1. Priprema profila na nivou pločice čipa i elektronska analiza, zasnovana na tehnologiji fokusiranog jonskog snopa (DB-FIB), preciznom rezanju lokalnog područja čipa i elektronskom snimanju u realnom vremenu, može dobiti strukturu profila čipa, sastav i drugo važne informacije o procesu;
2. Sveobuhvatna analiza fizičkih i hemijskih svojstava poluprovodničkih proizvodnih materijala, uključujući organske polimerne materijale, materijale malih molekula, analizu sastava neorganskih nemetalnih materijala, analizu molekularne strukture itd.;
3. Formulisanje i implementacija plana analize kontaminanata za poluprovodničke materijale.Može pomoći kupcima da u potpunosti razumiju fizičke i hemijske karakteristike zagađivača, uključujući: analizu hemijskog sastava, analizu sadržaja komponenti, analizu molekularne strukture i druge analize fizičkih i hemijskih karakteristika.
Servisni predmeti
| Servistip | Servisstavke |
| Analiza elementarnog sastava poluvodičkih materijala | l EDS elementarna analiza, l Rentgenska fotoelektronska spektroskopija (XPS) elementarna analiza |
| Analiza molekularne strukture poluvodičkih materijala | l analiza FT-IR infracrvenog spektra, l spektroskopska analiza difrakcije rendgenskih zraka (XRD), l Pop analiza nuklearne magnetne rezonance (H1NMR, C13NMR) |
| Analiza mikrostrukture poluvodičkih materijala | l Analiza s dvostrukim fokusiranim ionskim snopom (DBFIB), l Za mjerenje i promatranje mikroskopske morfologije korištena je emisiona skenirajuća elektronska mikroskopija (FESEM), l Mikroskopija atomske sile (AFM) za posmatranje morfologije površine |
